情報工学科 応用化学科 電気電子工学科 機械システム工学科
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(06/08)  [プレスリリース]フェムト秒レーザー光の高次高調波によって薄膜の微細加工に成功! ― 極端紫外光の回折限界集光が拓く微細加工の最前線 ―

【発表のポイント】

◆近赤外域のフェムト秒レーザー光の高次高調波として極端紫外光を発生させ、その極端紫外光を回折限界にまで集光し、サブマイクロメートルスケールで微細加工を実現。
◆極端紫外域の高次高調波光によって加工が実現されるための照射強度の閾値を、PMMA薄膜および金属ナノ粒子レジスト薄膜について決定。
◆極端紫外域の高次高調波光による加工部位を顕微ラマン分光によって評価し、極端紫外光によるPMMA薄膜の加工に伴い薄膜内の化学結合が切断されることを発見。

【概要】 

国立大学法人東京大学(総長:五神 真)大学院理学系研究科化学専攻の山内 薫教授、岩崎純史教授、本山央人助教、大学院工学系研究科附属光量子科学研究センターの坂上和之主幹研究員、同精密工学専攻の三村秀和准教授、国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構(理事長:平野俊夫)量子ビーム科学部門関西光科学研究所の石野雅彦主幹研究員、国立大学法人宇都宮大学(学長:石田朋靖)工学部の東口武史教授、国立研究開発法人産業技術総合研究所(理事長:石村和彦)先端オペランド計測技術オープンイノベーションラボラトリ(兼務:分析計測標準研究部門)黒田隆之助ラボチーム長らの研究グループは、近赤外域のフェムト秒レーザー光の高次高調波(注1)として極端紫外光(注2)を発生させ、その極端紫外光を回折限界にまで集光して試料に照射することによって、サブマイクロメートルスケールでの微細加工を実現しました。
 レーザー加工においては加工を如何に微細にできるかが最も大きな課題です。光の波長が短い程、回折限界のサイズが小さくなるため微細加工に適しています。近赤外域のフェムト秒レーザーを希ガスなどの媒質に集光すれば高次高調波として極端紫外域の超短パルス光を発生させることができます。そのため、極端紫外域の高次高調波は微細加工のための有力な光源として注目されてきました。
 ところが、極端紫外域光の集光には屈折率を利用する透過型レンズを使うことができないため反射光学素子を用いなければならない上、波長が短いために反射光学素子の面精度を極めて高くしなければ回折限界での集光を達成することが出来ないという問題があり、これまでは、極端紫外域の高次高調波による微細加工は困難であると考えられてきました。
 我々はこの問題点を、独自に開発した高い開口数を持つ高精度な回転楕円ミラー(注3)によって克服し、回折限界にまで集光した極端紫外域の高次高調波によって薄膜サンプルの微細加工に成功しました。
 具体的には、近赤外域フェムト秒レーザーパルスをアルゴンガスに集光し、極端紫外域(波長約32 nm)の高次高調波を発生させ、回転楕円ミラーによってサブマイクロメートル径に集光し、アクリル樹脂(PMMA)(、注4)薄膜および金属ナノ粒子レジスト薄膜(注5)の加工を行いました。さらに、加工部位を顕微ラマン分光(注6)によって評価し、加工に伴いPMMA薄膜中の化学結合が切断されるという薄膜内の微視的な結晶構造の変化を明らかにしました。
 本研究により、極端紫外域の高次高調波光を高精度な反射光学素子を用いて集光すれば、サブマイクロメートル領域の微細加工が可能であることが明らかになりました。この成果は、レーザーによる微細加工の可能性を大きく広げるものであり、今後の微細加工プロセスへの応用が期待されます。
 なお、本成果は2020年5月14日(米国時間)に米国科学誌「オプティクス・レター」にて公開されます。
 本研究は、文部科学省"光・量子飛躍フラッグシッププログラム(Q-LEAP)"(「次世代アト秒レーザー光源と先端計測技術の開発(研究代表者:東京大学 山内 薫教授(部門長))JPMXS0118068681」、「光量子科学によるものづくり CPS 化拠点(研究代表者:東京大学石川顕一教授(部門長)JPMXS0118067246」、「先端ビームによる微細構造物形成過程解明のためのオペランド計測(研究代表者:京都大学 橋田昌樹准教授)JPMXS0118070187」);国立研究開発法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)委託事業「高輝度・高効率次世代レーザー技術開発」;日本学術振興会 (JSPS) 科研費特別推進研究 (15H05696);文部科学省最先端研究基盤事業「コヒーレント光科学研究基盤の整備」;科学技術振興機構(JST)「革新的イノベーション創出プログラムCOI STREAM」の助成を受けたものです。

【研究グループ】

山内  薫 東京大学 大学院理学系研究科化学専攻・教授
坂上 和之 東京大学 大学院工学研究科附属光量子科学研究センター・主幹研究員
東口 武史 宇都宮大学 工学部・教授
石野 雅彦 量子科学技術研究開発機構 量子ビーム科学部門関西光科学研究所・主幹研究員

詳細はこちら(PDF)をご覧ください。

【問合せ先】
国立大学法人宇都宮大学工学部
教授 東口 武史(ひがしぐち たけし)
E-mail: higashi※cc.utsunomiya-u.ac.jp
(※を半角@に置き換えてください)

(04/07)  教科書販売について

教科書の販売については以下の宇都宮大学生協のページで確認してください。

・1年生必修科目
1年生の教科書必修セットの販売&引き渡しはこちら

(今後も変更がありえるので,宇都宮大学生協 受験生・新入生応援サイトの「お知らせ」もチェックしてください。)

・1年生の選択科目および2年生以上の授業科目の教科書の販売はこちら

(今後も変更がありえるので,宇都宮大学生協サイトの「お知らせ」もチェックしてください。)

(04/06)  【重要】令和2年度前期の履修登録と授業について

前期の履修登録と授業はオンラインで行われます。したがって、教務ポータルの掲示や、Moodle(情報系はWebclassも)を必ず確認するように注意してください。

学外から教務ポータルやMoodleなどにアクセスする方法は、ガイダンス(学部1~3年生対象)の配布資料に記されています。4年生、大学院生は指導教員の指示にしたがってください。「感染しない・感染させない」の観点から、自宅からの履修登録や授業参加を推奨しています。

(04/03)  【重要】工学部新入生ガイダンスの日程等の変更について 

工学部では、新入生ガイダンスを4月8日(水)、4月9日(木)の2日間に分けて実施することとしておりましたが、学生証、資料の配付だけを行うことに変更したため、4月8日(水)午前10時から行いますので、お間違えの無いようにお願いします。

なお、受付時の混雑を避けるため、次のようにおおよその受付時間を割り振らせていただきますので、ご理解とご協力をお願いいたします。

 受付場所は、陽東キャンパス10号館正面玄関ですので、案内に従いお越しください。

10時~11時 3年次編入生及び姓が「あ」~「う」で始まる方
11時~12時 姓が「え」~「く」で始まる方
12時~13時 姓が「こ」~「た」で始まる方
13時~14時 姓が「ち」~「ふ」で始まる方
14時~15時 姓が「ほ」~「わ」で始まる方

上記の時間はあくまでも目安ですので、この時間以外でも受付を致します。

また、4月8日(水)にお越しになれない方には、4月9日(木)も10時から16時に受付けますので工学部10号館2階の総務係にお越しください。

(04/02)  令和2年度 1年生・編入生向け 工学部ガイダンスについて

新入生ガイダンスの実施方法が変更になりました.変更後の実施方法についてはこちらをごらんください.

○1年生は氏名を元に五十音順で4グループに分け、4月8日と9日に下記のように実施します。グループについては、受付で確認してください。

○3年次編入生向けガイダンスは8日に実施します。14:40までは1年生と一緒にガイダンスを受け、その後は各学科の3年生担任から別室でガイダンスを受けます。

○まず工学部のある陽東キャンパスの正門を入ってすぐの所にある受付に向かってください。ガイダンス会場を指示します。(陽東キャンパスと峰キャンパスを間違えないように注意してください)

4月8日(水)・9日(木) 陽東キャンパス
*受付 13:00〜(8日、9日とも)陽東キャンパス正門

詳細はこちらのガイダンス予定表(PDF)を参照してください.

(03/02)  阿山みよし先生 最終講義および退職記念パーティーの延期について

新型コロナウイルスの感染拡大防止の観点から文部科学省より、イベント開催などの自粛要請がございました。参加者皆様の健康と安全を第一に考えた結果、阿山みよし先生の退職記念関連の行事(最終講義、退職記念パーティー)を延期することと致しました。
新しい開催の時期につきましては、新型コロナウイルスの感染状況などを見守りながら、改めてご案内申し上げます。開催を楽しみにしてくださっていた皆様には大変申し訳ございませんが、何卒ご理解頂きたくお願い申し上げます。

宇都宮大学工学部基盤工学科
情報電子オプティクスコース
石川智治(ishikawa@is.utsunomiya-u.ac.jp)

(02/28)  鈴木昇教授 最終講義および退職記念パーティーの延期について

応用化学科では昨今のコロナウイルスの対応を鑑みまして,3月5日に予定しておりました鈴木昇教授の退職記念関連の行事(最終講義,記念パーティー)を延期することといたしました。

開催の時期につきましては,コロナウイルスが収束する頃合いを見計らいまして,改めてご案内申し上げます。
楽しみにしていた皆様には誠に申し訳ございませんが,何卒ご理解いただきたくお願い申し上げます。

(02/06)  北村通英教授 最終講義のご案内

 この度,長年にわたり本学の教育・研究・学務にご尽力くださいました北村通英先生が,令和2年3月末で定年退職されることとなりました.
 つきましては,北村先生の最終講義を下記のとおり開催いたします.年度末のお忙しい時期とは存じますが,皆様のご来聴を心よりお待ち申し上げます.

講義題目:「時の過ぎゆくままに   AS TIME GOES BY」
日時:令和2年2月13日(木)16:30~18:00(予定)
場所:陽東キャンパス アカデミアホール

問合せ先:情報電子オプティクスコース長 東口 武史
E-mail:higashi@cc.utsunomiya-u.ac.jp






(01/16)  第62回最先端技術特別講演会& 宇都宮大学感性情報科学研究会(UU-KISS)講演会

第62回最先端技術特別講演会&宇都宮大学感性情報科学研究会(UU-KISS)講演会を開催いたします.

 期日: 2020/2/21(金) 13:30-15:30
 会場: 921講義室
 テーマ:「食の感性」

 特別演題:「食とテロワール」
 講師: 音羽和紀(オトワレストラン・オーナー)
 演題1:「食と色」
 講師:桜井将人(静岡理工科大学・准教授)
 演題2:「美味しさ評価と食感」
 講師:石川智治(宇都宮大学・UU-KISS幹事)

(12/03)  横田隆史教授が The 7th International Symposium on Computing and Networking にて、Distinguished Service Award を受賞されました

横田隆史教授が The 7th International Symposium on Computing and Networking にて、Distinguished Service Awardを、令和元年11月28日に受賞されました。

(12/02)  東口武史教授(情報電子オプティクスコース)らの研究グループ、超短パルス軟X線レーザー特有の表面加工メカニズムを解明

国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構(理事長:平野俊夫)量子ビーム科学部門関西光科学研究所のヂン・タンフン主任研究員、石野雅彦主幹研究員、錦野将元グループリーダー、国立大学法人宇都宮大学(学長:石田朋靖)学術院(工学部)の東口武史教授、国立大学法人東京大学(総長:五神真)大学院工学系研究科附属光量子科学研究センターの坂上和之主幹研究員、早稲田大学(総長:田中愛治)理工学術院の鷲尾方一教授、国立大学法人東北大学(総長:大野英男)多元物質科学研究所の羽多野忠助教、国立研究開発法人理化学研究所(理事長:松本紘)放射光科学研究センターの大和田成起研究員(当時)、公益財団法人高輝度光科学研究センター(JASRI)(理事長:雨宮慶幸)の犬伏雄一主幹研究員らの研究グループは、X線自由電子レーザー「SACLA」を用いて超短パルス軟X線レーザーに特有の表面加工メカニズムを解明しました。
詳しくは、プレスリリースをごらんください。
[プレスリリース]超短パルス軟X線レーザー特有の表面加工メカニズムを解明

(11/18)  第61回最先端技術特別講演会&宇都宮大学感性情報科学研究会(UU-KISS)講演会)を開催します。(2019年12月3日(火))

下記の通り、第61回宇都宮大学工学部最先端技術特別講演会&宇都宮大学感性情報科学研究会(UU-KISS)講演会を開催いたしますので、どうぞご参加下さい

期日:令和元年12月3日(火)16:10~17:40

会場:アカデミアホール(陽東キャンパス 10号館1階)

演題:非線形重回帰をEXCELのソルバーを使って
    -Deep Learningの最適化の過程を実体験ー

講師:宇都宮大学大学院 光工学プログラム 客員教授
    稲 秀樹 先生

講演内容:コンピュータに学習させる機械学習の手法のひとつのディープラーニング(深層学習)は,人工知能(AI)の急速な発展を支える技術であり,顔認証,音声認識,自動運転等に適用するため研究開発が行われています.ディープラーニングの技術は,人間の神経細胞(ニューロン)の仕組みを模したシステムであるニューラルネットワークがベースになっておりニューラルネットワークを多層にして用いたモデルです.しかしながら,その多層のためか,実際のモデルに使用されている重みの値等は開示されていないし、モデルの最適化される過程もBlack Box化されている場合がほとんどです.
そこで今回は非線形重回帰に関して、EXCELのソルバーと言う機能を使って「Shallowな」モデルを最適化する過程をお見せして,モデルを作成するための関数,手法をご紹介します.
受講される方を,「エクセルを少しは使ったことがあり,ディープラーニングにご興味がある」として,「どうして動作するか?」に関して,数学的に難しいことはEXCELのソルバーに任せ,動作原理を基本から説明しモデルを最適化する過程をお見せして「感性的に」理解して頂きたいと思います.
可能でしたらNotePCをお持ち頂いて,実際にモデルの作成を試みてください.

【参加費】 無料

【申込み】 不要 ※どなたでもご参加いただけます。

【問合せ】 宇都宮大学工学部情報工学科事務室
Tel:028-689-6265
Mail:secretar@is.utsunomiya-u.ac.jp

(11/15)  俣野友亮君(情報電気電子システム工学プログラム修士課程1年)、春名順之介助教、船渡寛人教授(情報電子オプティクスコース)がBest Paper Award (ICRERA 2019)を受賞

俣野友亮君(情報電気電子システム工学プログラム修士課程1年)、春名順之介助教、船渡寛人教授(情報電子オプティクスコース)が令和元年11月6日にルーマニア、ブラショフ市で開催されたICRERA 2019において俣野友亮君が発表した論文に対して Best Paper Award を受賞されました。

(10/01)  藤井雅弘准教授が電子情報通信学会基礎・境界ソサイエティから編集活動感謝状を贈呈されました

藤井雅弘准教授が、編集において査読委員としての献身的な活動に対して、一般社団法人電子情報通信学会基礎・境界ソサイエティから、令和元年9月11日に、編集活動感謝状を贈呈されました。

(09/30)  船渡寛人教授(情報電子オプティクスコース)が電気学会産業応用部門活動功労賞を受賞されました

船渡寛人教授が、IPEC2018論文委員長として一般社団法人電気学会産業応用部門発展のため献身的に活動したことから、2019年8月20日に、部門活動功労賞を受賞されました。

(09/26)  藤井雅弘准教授が電子情報通信学会通信ソサイエティ活動功労賞を受賞されまし た

藤井雅弘准教授が、論文査読等に関する献身的活動に関して、一般社団法人電子情報通信学会通信ソサイエティの学術交流活性化に大きく貢献したことから、令和元年9月11日に、電子情報通信学会通信ソサイエティ活動功労賞を受賞されました。

(09/18)  ミヤグスク・レナート助教(機械システム工学コース)がIEEE RAS JJC Young Award (ICRA2019)を受賞されました

ミヤグスク・レナート助教が令和元年5月20日にカナダ,モントリオールで開催されたICRA2019において,2019 IEEE Robotics and Automation Society Japan Joint Chapter Young Awardを受賞されました.

(09/04)  秋のオープンキャンパス2019(10/26 土)を開催いたします

都宮大学工学部では、秋のオープンキャンパスを実施いたします。
研究室紹介や模擬授業を通して、「テクノロジー」のおもしろさを存分に楽しんでください。

日時:令和元年10月26日(土)
場所:宇都宮大学陽東キャンパス(栃木県宇都宮市陽東7-1-2)

○学部・学科説明会 
   9:00~9:45、13:00~13:45 

○模擬授業
   10:00~10:30、14:00~14:30

○研究室公開 
  9:00~15:00

○進路相談コーナー 
 10:00~15:00

○大学院(光工学プログラム)説明会

○学生フォーミュラ車両展示

工学部のパンフレットをこちらからダウンロードできます.(PDF)

全学のお知らせはこちらからご覧ください.

(09/04)  長谷川まどか教授(情報電子オプティクスコース)が画像電子学会フェローを受賞されました

長谷川まどか教授が、「画像符号化とその応用に関する先駆的研究開発」に関して優れた業績を挙げられ、一般社団法人画像電子学会の発展に大きく貢献したことから、令和元年6月28日に、画像電子学会フェローの称号を受賞されました。

(09/04)  第5回宇都宮大学ホームカミングデー ~お帰りなさい宇大へ~を開催いたします(11/23土・祝)

第5回宇都宮大学ホームカミングデー ~お帰りなさい宇大へ~を開催いたします

会場 宇都宮大学陽東キャンパス (栃木県宇都宮市陽東7-1-2)
日時 2019/11/23(土) (受付13:00~@10号館入口)


13:00~ 大人気!宇大グッズ・附属農場生産品 販売(10号館)
     陽東キャンパスなう☆研究紹介パネル展(11号館)

14:00~ 宇都宮大学長、工学部長挨拶(10号館)

14:10~15:00 写真家 高砂 淳二 氏 トークイベント
「PLANET OF WATER」 
宇都宮大学工学部電子工学科卒業生。ダイビング専門誌の専属カメラマンを経て1989 年に独立。
これまで世界100か国ほどを訪れ、海の中から生き物、虹、風景、星空まで、地球全体をフィールドに、自然や命の大切さ、自然全体の繋がり、人間と自然の関係性などをテーマに撮影活動を行っている。
海の環境非営利団体OWS(Oceanic Wildlife Society)副代表理事。
10号館 アカデミアホール前ラウンジにて、写真展開催!

15:00~15:20 ハーモニカミニコンサート
演奏:稲川 有徳 助教 (宇都宮大学工学部応用化学科)
6歳よりハーモニカを始める。複音ハーモニカを野村久泰氏、大場善一氏に、クロマティックハーモニカを和谷泰扶氏に師事。2005年世界ハーモニカ大会(ドイツ)複音ハーモニカ、クロマティックハーモニカジュニア両部門で第1位、2009年同大会課題曲付クロマティックハーモニカ部門で第1位受賞など、これまでに国内外のコンクールで第1位を多数受賞。
演奏曲(予定):エリーゼのために、トルコ行進曲、チャルダッシュ

15:30~16:30  懇親会 (会場11号館)
(会費制(2,000円)。当日でもご参加いただけますが、準備の都合上、事前登録にご協力下さい。
 飲み物と軽食をご用意いたしますが、皆様からの差し入れも大歓迎)

【参加申込】
こちらの参加申込受付ページからお願いいたします.

ホームカミングデーWEBサイト
https://www.utsunomiya-u.ac.jp/disclosure/homecomingday.php

卒業生のみなさまへ
https://www.utsunomiya-u.ac.jp/graduate/



※ お車でお越しの際は,北門より入り,一般駐車場をご利用下さい。